技術(shù)文章
真空管式爐充工作氣體(氫氣-惰性氣體)方法
一、使用氫氣作為工作氣體時
1.接通氫氣氣路,對各接頭處用肥皂水檢漏,確認(rèn)不漏氣。
2.確認(rèn)各閥門處于關(guān)閉狀態(tài)。
3.逆時針旋轉(zhuǎn)旋鈕開氫氣瓶主閥,順時針旋動旋鈕,緩慢打開出口減壓閥,使出口氣壓在0.1MPa。
4.接通機(jī)械泵電源,打開管式爐出口閥和機(jī)械泵氣路上的兩個閥門,抽5分鐘。
5.關(guān)閉機(jī)械泵氣路上的兩個閥門,關(guān)閉管式爐出口閥門,關(guān)機(jī)械泵。
6.逆順時針打開上氣路控制閥,使箭頭指向“開"位置。
7.逆順時針調(diào)節(jié)流量計旋鈕,使示數(shù)在20ml/min。
8.逆時針旋動旋鈕,打開管式爐進(jìn)氣閥,直至氣壓表讀數(shù)為零。9.打開管式爐進(jìn)氣閥,打開氫氣氣路上的紅色出口閥門。
10.在通氫氣滿十分鐘后,才能開始加熱管式爐。加熱前,逆時針調(diào)節(jié)流量計旋鈕,使錐形瓶中氣泡出現(xiàn)的速度為2個/秒鐘。
二、使用惰性氣體作為工作氣體時:
1.接通工作氣體氣路,將管式爐氣體出口端連接機(jī)械泵。2.打開管式爐進(jìn)氣閥,合上真空泵電源,打開出氣閥(注意把住法蘭,避免爐管受力過大),抽空剛玉管和氣體管路。
3.當(dāng)管式爐真空表到-0.1(指針到盡頭時),關(guān)閉出氣閥,關(guān)閉進(jìn)氣閥。
4.逆時針旋動旋鈕開氣瓶主閥,順時針旋動旋鈕,緩慢打開出口減壓閥,使出口氣壓在0.004MPa(2小格)。5.逆時針旋動旋鈕,緩慢打開管式爐進(jìn)氣閥;密切注意管式爐氣壓表,確認(rèn)氣壓在0.08MPa以下(如氣壓高于0.08MPa,打開管式爐出氣閥放氣)。
6.管式爐氣壓表當(dāng)氣壓穩(wěn)定時,關(guān)閉管式爐進(jìn)氣閥,打開出氣閥,抽真空到-0.1,關(guān)管式爐出氣閥。
7.重復(fù)4、5步兩次。
8.關(guān)機(jī)械泵,打開管式爐進(jìn)氣閥。