小型蒸鍍儀標(biāo)準(zhǔn)操作步驟

小型蒸鍍儀是一款小型真空鍍膜儀，特別適合蒸鍍一些輕金屬，如Al.Mg,和Li等。同時(shí)也可對(duì)樣品進(jìn)行鍍碳處理，zui大可處理的樣品直徑為50mm。

　　小型蒸鍍儀的使用可分為4步，即蒸鍍前準(zhǔn)備工作、蒸鍍儀的預(yù)熱、蒸鍍薄膜以及關(guān)機(jī).

　　1、蒸鍍前準(zhǔn)備工作：

　　1.1）開充氣閥，對(duì)鐘罩內(nèi)充氣，再升鐘罩；

　　1.2）根據(jù)鐘罩內(nèi)是否清潔，先使用酒精清洗鐘罩內(nèi)的零部件；

　　1.3）安裝鉬舟，并將鋁絲條放入鉬舟中，并將所要沉積的襯底粘附于鋁板上；

　　1.4）降鐘罩，在鐘罩下降的同時(shí)要觀察是否存在物品及雜物存在于鐘罩內(nèi)。

　　2、蒸鍍儀的預(yù)熱：

　　2.1）開機(jī)械泵，抽鐘罩，接通低真空測(cè)量，直至鐘罩內(nèi)真空度降低到5Pa以下；

　　2.2）調(diào)節(jié)螺絲至10-20帕之間，此時(shí)可以對(duì)蒸鍍襯底材料進(jìn)行轟擊處理，若不需要轟擊，則直接進(jìn)入下一步驟。轟擊時(shí)間根據(jù)需要自己控制，主要為了處理沉積襯底表面。轟擊完畢，把轟擊轉(zhuǎn)盤調(diào)零，再將表盤的“轟擊"檔轉(zhuǎn)為“關(guān)"檔；

　　2.3）將低閥推到抽系統(tǒng)位置，待壓強(qiáng)低于5Pa后，開擴(kuò)散泵，預(yù)熱40分鐘。

　　3、蒸鍍薄膜：

　　3.1）在預(yù)熱完畢后，開高閥，約40-60秒后，接通高真空測(cè)量(開燈絲)，低真空測(cè)量換到擴(kuò)散泵前級(jí)測(cè)量，當(dāng)真空度達(dá)到2-3×10-3，滿足蒸鍍真空要求；

　　3.2）開“工件旋轉(zhuǎn)"檔，根據(jù)需要調(diào)節(jié)“工件旋轉(zhuǎn)"的速度（接觸調(diào)壓器值20-30）；

　　3.3）開通烘烤，調(diào)節(jié)好所需的溫度，根據(jù)實(shí)際需要設(shè)置烘烤時(shí)間。如果無需烘烤，則可進(jìn)入下一步進(jìn)行蒸鍍實(shí)驗(yàn)；

　　3.4）選好所放電極的位置，接通“蒸發(fā)"檔，將一顆“銅扭"插入對(duì)應(yīng)的電極位置，開始增大電流（180A左右）進(jìn)行溶解蒸鍍的材料，當(dāng)發(fā)現(xiàn)已經(jīng)熔解，將擋板擋住蒸發(fā)源。待*熔解后，打開擋板，讓材料蒸鍍到襯底表面；

　　3.5）蒸鍍完畢后，各檔歸零。關(guān)高真空測(cè)量，關(guān)高閥，低閥拉出到“抽鐘罩"位置，停機(jī)械泵，待工件冷卻后，對(duì)鐘罩充氣，升鐘罩，取出零件，清洗鍍膜室。

　　3.6）如需另外蒸鍍，則重新?lián)Q襯底，電極（鉬舟）內(nèi)加料。

　　4、關(guān)機(jī)：

　　4.1）如果蒸鍍完畢，結(jié)束實(shí)驗(yàn)時(shí)，先關(guān)高真空測(cè)量，關(guān)高閥，停擴(kuò)散泵，開機(jī)械泵。待機(jī)2小時(shí)退熱后，將低閥拉出至“抽鐘罩"位置，讓鐘罩內(nèi)保持一定的真空度；

　　4.2）關(guān)蒸鍍儀的總開關(guān)；

　　4.3）先關(guān)“進(jìn)水"閥，后關(guān)“出水"閥（冷卻水）；

　　4.4）關(guān)蒸鍍儀的電源；

　　4.5）關(guān)總電源。

　　4.6）鍍膜實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，注意清洗各部分原件，各種材料歸位，打掃衛(wèi)生保持實(shí)驗(yàn)室的干凈。