技術(shù)文章
氧化鋅(ZnO),俗稱(chēng)鋅白,是鋅的一種氧化物,難溶于水,可溶于酸和強(qiáng)堿。它是一種常用的化學(xué)添加劑,廣泛地應(yīng)用于塑料、硅酸鹽制品、合成橡膠、潤(rùn)滑油、油漆涂料、藥膏、粘合劑、食品、電池、阻燃劑等產(chǎn)品的制作中。氧化鋅的能帶隙和激子束縛能較大,透明度高,有優(yōu)異的常溫發(fā)光性能,在半導(dǎo)體領(lǐng)域的液晶顯示器、薄膜晶體管、發(fā)光二極管等產(chǎn)品中均有應(yīng)用。氧化鋅的硬度約為4.5,是一種相對(duì)較軟的材料。其熱穩(wěn)定性和熱傳導(dǎo)性較好,而且沸點(diǎn)高,熱膨脹系數(shù)低,在陶瓷材料領(lǐng)域也有用武之地。
切割
將直徑20mm、長(zhǎng)50mm的圓柱形氧化鋅材料切割成1mm厚的圓形薄片,STX-202A金剛石線(xiàn)切割機(jī)當(dāng)為優(yōu)選。該切割機(jī)適合脆性材料及小規(guī)格材料的薄片切割和精密切割。
首先,將樹(shù)脂陶瓷塊、載物板、氧化鋅放到加熱平臺(tái)上加熱,當(dāng)溫度達(dá)到80℃時(shí),依次在載物板、樹(shù)脂陶瓷塊上均勻地涂上石蠟。先將一塊樹(shù)脂陶瓷塊放在載物板中間位置,再將氧化鋅平放在樹(shù)脂陶瓷塊的中間位置,然后用另兩塊樹(shù)脂陶瓷塊夾立在氧化鋅兩側(cè),用以保護(hù)及穩(wěn)固氧化鋅,進(jìn)行壓實(shí)粘牢后取下冷卻。
其次,將十字夾具鎖緊在工作臺(tái)上,再將粘有氧化鋅的載物板鎖緊在十字夾具上。松開(kāi)工作臺(tái)固定螺母,旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)使粘立有樹(shù)脂陶瓷塊的一側(cè)為正前面,鎖緊工作臺(tái)。擰開(kāi)二維夾具螺母,調(diào)整好水平角度后鎖緊。打開(kāi)控制盒,選擇手動(dòng)控制,按“上升"或“下降"進(jìn)行Z軸方向調(diào)整,使金剛石線(xiàn)貼近樹(shù)脂陶瓷塊的上表面。再旋動(dòng)千分尺調(diào)整Y軸方向,使金剛石線(xiàn)移至樹(shù)脂陶瓷塊外表面的邊緣處。此時(shí),根據(jù)實(shí)際情況適量地旋轉(zhuǎn)工作臺(tái),使金剛石線(xiàn)與樹(shù)脂陶瓷塊外表面平行后鎖緊工作臺(tái)。然后取下十字夾具,并裝卡在垂直方向的夾道中。再次旋動(dòng)千分尺,調(diào)節(jié)到適當(dāng)?shù)某跚忻娴奈恢眉纯伞?/span>
最后,依次安裝好防水罩,將裝有紅油的冷卻液盒放在切割機(jī)下面,連接出液管、水管、水泵,接通水泵電源。調(diào)整出液管至適當(dāng)位置及高度,要使紅油能夠澆到氧化鋅的中間部分,以確保良好的冷卻效果,又要避免二者在切割過(guò)程中發(fā)生碰撞。點(diǎn)擊主軸轉(zhuǎn)數(shù)設(shè)置框,設(shè)為260 rpm;點(diǎn)擊低速切割設(shè)置框,設(shè)為0.3 mm/min;點(diǎn)擊回程速度設(shè)置框,設(shè)為20 mm/min;點(diǎn)擊行程設(shè)置框,設(shè)為25 mm(考慮包角的因素)。依次點(diǎn)擊主軸運(yùn)行、選擇低速切割、點(diǎn)擊切割停止、點(diǎn)擊切割運(yùn)行,即開(kāi)始進(jìn)行切割。切割完成后,點(diǎn)擊主軸停止,調(diào)節(jié)千分尺進(jìn)程為1.32 mm(考慮金剛石線(xiàn)線(xiàn)徑0.3mm和抖動(dòng)偏移量0.02mm),再按照前面的順序依次點(diǎn)選,即進(jìn)行第二刀切割,待切割完成后,重復(fù)此操作即可切得多片薄片。
研磨拋光
鑒于氧化鋅的硬度相對(duì)較軟,且磨拋面直徑為20mm,采用UNIPOL-802精密研磨拋光機(jī)進(jìn)行磨拋即可。
首先,將氧化鋅薄片、0.76kg的載樣盤(pán)在加熱平臺(tái)上加熱到80℃,
其次,先將研磨拋光機(jī)的兩個(gè)支撐臂松開(kāi),旋至機(jī)體的外側(cè),用鑄鐵花盤(pán)上的三個(gè)定位銷(xiāo)對(duì)準(zhǔn)機(jī)體托盤(pán)上的三個(gè)安裝孔,然后慢慢放實(shí)。旋回兩個(gè)支撐臂,調(diào)節(jié)兩個(gè)支撐滾輪,使其和修盤(pán)環(huán)的接觸點(diǎn)與修環(huán)盤(pán)的圓心構(gòu)成的兩直線(xiàn)間夾角在90°~150°間,以便載樣盤(pán)套上修盤(pán)環(huán)后可以在其中順暢運(yùn)轉(zhuǎn)。上下移動(dòng)支撐臂,使固定臂上的支撐滾輪位于修盤(pán)環(huán)高度的二分之一處。以套上修盤(pán)環(huán)的載樣盤(pán)位置為基準(zhǔn),調(diào)整支撐臂軸向位置。當(dāng)支撐臂移動(dòng)至最外側(cè)時(shí),使載樣盤(pán)的邊緣剛好能夠探出研磨盤(pán);當(dāng)支撐臂移動(dòng)至最內(nèi)側(cè)時(shí),使載樣盤(pán)的邊緣能夠經(jīng)過(guò)研磨盤(pán)中央的中心孔,鎖緊固定螺絲即可。
再次,將裝有W7剛玉磨料的SKZD-2型滴料器,放置在研磨拋光機(jī)的后方平臺(tái)上,調(diào)整好滴料管位置。然后調(diào)節(jié)研磨拋光機(jī)定時(shí)器表盤(pán)右下角的定時(shí)單位螺絲旋鈕,選擇min,調(diào)節(jié)左下角的定時(shí)范圍螺絲旋鈕,選擇0~30的范圍,再轉(zhuǎn)動(dòng)紅色指針至20。打開(kāi)滴料器,在鑄鐵花盤(pán)上滴上適量磨料后,放上空的載樣盤(pán)并套上修盤(pán)環(huán)。將研磨拋光機(jī)的轉(zhuǎn)數(shù)調(diào)整旋鈕進(jìn)行歸零后(每次啟動(dòng)機(jī)器前都要進(jìn)行歸零操作,避免造成下一次開(kāi)機(jī)時(shí)誤操作)打開(kāi)機(jī)器,轉(zhuǎn)數(shù)調(diào)節(jié)為30rpm,打開(kāi)工位開(kāi)關(guān),調(diào)節(jié)至最大速度,即開(kāi)始對(duì)鑄鐵花盤(pán)進(jìn)行修盤(pán)(為了去除盤(pán)上附有其他粒度的磨料及雜物)。修盤(pán)結(jié)束后,用清水清洗鑄鐵花盤(pán)、載樣盤(pán)、修盤(pán)環(huán)。然后將粘有氧化鋅薄片的載樣盤(pán)倒置在鑄鐵花盤(pán)上,套上修盤(pán)環(huán)。調(diào)節(jié)定時(shí)范圍螺絲旋鈕,選擇0~12的范圍,轉(zhuǎn)動(dòng)定時(shí)器紅色指針至7min。歸零后開(kāi)機(jī),調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)數(shù)為30rpm,調(diào)節(jié)支撐臂速度,使載物塊橫向的往復(fù)移動(dòng),以保證薄片研磨的均勻性。研磨完成后,取下載樣盤(pán)、修盤(pán)環(huán)和鑄鐵花盤(pán)用清水清洗。
最后,先將表面附有磁力墊的鋁盤(pán)安放在機(jī)體上。再將合成革拋光墊粘貼在磨拋底片上,粘貼時(shí)要均勻的攤開(kāi)拋光墊,以便消除粘合面的氣泡,保證拋光面的平整度。然后用清水清洗拋光墊,再將其安放在磁力墊上(磨拋底片與磁力墊間不能有水,避免研磨過(guò)程中磨拋底片發(fā)生滑動(dòng))。將裝有50nm的二氧化硅拋光液的SKZD-3型滴料器放置在研磨拋光機(jī)的后方平臺(tái)上,調(diào)節(jié)好位置。然后使用修鑄鐵花盤(pán)的方法對(duì)拋光墊進(jìn)行修墊,定時(shí)時(shí)間選擇5min,轉(zhuǎn)數(shù)選擇80 rpm。待修墊完成后,用清水清洗拋光墊、載樣盤(pán)、修盤(pán)環(huán)。再依次將粘有氧化鋅薄片的載樣盤(pán)、修盤(pán)環(huán)放在拋光墊上,并壓上配重塊,加壓至1.96kg。定時(shí)時(shí)間選擇為20min,調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)數(shù)為110rpm,打開(kāi)工位開(kāi)關(guān),調(diào)節(jié)至最大速度,開(kāi)始對(duì)薄片進(jìn)行拋光。拋光結(jié)束后,用清水清洗載樣盤(pán),然后在加熱平臺(tái)上加熱,取下氧化鋅薄片,使用酒精清洗即可。
如果需要對(duì)其進(jìn)行雙面研磨拋光,只需對(duì)另一面進(jìn)行相同操作即可。但在操作過(guò)程中要注意對(duì)已磨拋完畢表面的保護(hù)。