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小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP
簡要描述:

OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4“ 石英管和真空法蘭, 它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片(Z大達(dá)3“)的退火而設(shè)計(jì),采用10KW紅外燈管加熱Z快升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制,精度為 +/-1°C. 計(jì)算機(jī)通過RS485口和控制軟件實(shí)時控制爐子和顯示溫度曲線 。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-08-17
  • 訪  問  量:3495

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,能源,電子

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù):



爐體結(jié)構(gòu)

  • 雙層莫來石鋼構(gòu)(不帶水冷或風(fēng)冷)

  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

加熱元件

8 根紅外燈管 (D=10 L=300 T =200, mm

加熱區(qū)

12" length with 4"X12"恒溫區(qū)( +/-5oC )

石英管和樣品架

  • 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

  • 3" 的樣品架固定在滑動法蘭上,石英材料

  • 一片3"  AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。

  • AlN 具有很高的熱導(dǎo)率,所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性+\- 5°C

真空法蘭

  • 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作,兩個高溫“O"型圈密封

  • 滑動法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確。

水冷

如果要求通冷卻水.

  • 請確定冷卻水流速 ≥ 3L/min, 水溫 < 20oC; 水壓 > 25 PSI

  • 我們建議采用 循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)(為了節(jié)約用水).

  • 警告:  這款 RTP 爐在1000oC ~ 1100oC下保溫時間不超過 600 秒,否則“ O"圈將被燒融

流量計(jì)

范圍: 16 - 160 ml/min

真空表

  • 數(shù)字真空表,測量范圍:10mtorr~800 torr .

  • 可選本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測量范圍為3.8x10-5 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

真空度

  • 用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr .

  • 用分子泵真空度可達(dá) 10-4 torr .

溫度控制

PID 自動控制, 可控硅 SCR

熱偶

進(jìn)口K 型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下。

溫控儀

  • PID 自動控制,30段程序帶過熱和斷偶保護(hù)功能

  • 熱偶: 進(jìn)口K type

  • 自整定功能

  • 控溫精度: +/- 1°C

  • RS485 串口和溫控軟件(模塊和數(shù)據(jù)線需要另購)   溫控操作視頻:點(diǎn)擊查看

快升溫速度

室溫~800℃: 50 oC/sec ,800℃~1000℃: 10oC/sec

           新升溫曲線 直接升溫到1000℃分階段升溫?cái)?shù)據(jù)  請點(diǎn)擊查看

快降溫速度

60oC/min (在 200 mtorr下), 117oC/min (在一個大氣壓下)

選擇:  為得到較快的降溫速度 < 10°C/秒, 你可以選擇帶滑軌的 RTP 爐,如下圖:

溫度

高1100oC ,額定1000°C

電源

208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 9 KW Max. (> 60A 保險)

尺寸

760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)

重量

45 kg (100 lbs)

保修期

電器部分一年質(zhì)保期 (耗材:如爐管,“O"型圈和加熱燈管等不在保修范圍內(nèi))

認(rèn)證

 CE 認(rèn)證


標(biāo)準(zhǔn)裝箱單

商品編碼

名稱

數(shù)量

圖片

EQ-CVM-211

數(shù)字真空計(jì): 10-4 Torr

1

RT36-00

63A保險

2

RT14-20

4A保險

2

RTP-ACC-01

石英樣品架

1

AIN-Holder

樣品架上的AlN基片

1

KSL7-05

高溫手套, 耐 900 oC

1 pair

EQ-QZTube-RTP

石英管: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

1

RTP-ACC-02

石英擋板

4pcs  

聚氨酯水管 O.D. 12mm I.D. 8mm

1

高溫硅膠圈(6 個)

9

EQ-RTP-Halogen-light

紅外燈管

8

水管接頭

2

一對真空法蘭

1

N/A

          EQ-KF-Clamp-D25           KF-D25 快接2                  



高真空選配清單

為了獲得較高的真空,我們建議使用 KF25 適配器和不銹鋼真空管 (達(dá)50 mtorr),

名稱

數(shù)量

l圖片

真空泵, 兩級旋片Two Ste高速真空泵和兩級排氣系統(tǒng)和KF-D25 適配器(110V or 220V)

1

配KF-D25口的波紋管  (1m)

1

KF-D25 真空快接

1



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