5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐技術參數(shù)：
爐體結構和真空腔體 | |
真空法蘭 
| 真空法蘭為316不銹鋼制作 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進氣口 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封，體內真空度可達10-2 torr.
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加熱元件和載樣臺 | 由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部 兩個加熱臺之間的距離可以通過直流電機調節(jié)，調節(jié)范圍為：2-50mm 為了減少熱量輻射和達到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中，（不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作） 采用導熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作為載樣臺，以達到較好的加熱均勻性 底部載樣臺上可放入5"x5"的石墨坩堝來盛放蒸發(fā)原料 此款儀器使用時需要配用一循環(huán)水冷機（16L/m) 
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溫控系統(tǒng) 
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工作溫度 | 高工作溫度為：800℃ 兩個加熱區(qū)之間的大溫差為300℃
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加熱和冷卻速率 | |
熱電偶 | 兩個K型熱電偶，安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸 |
工作電壓 | 208 - 240VAC, 單相,（需要20A的空氣開關） |
功率 | 3000W |
可選 | 實驗時需要一個真空泵，可與本公司選購真空泵 采用機械泵可使腔體內的真空度達到< = 10E-2 torr 若要使真空腔體內達到更潔凈的工作環(huán)境，可換購無油泵 也可選購質子流量計混氣系統(tǒng)，將實驗所需氣體安比列混好后導入到真空腔體中 
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質保 | 一年質保期，終生維護（不包括密封圈、加熱元件和石英管） |
產品型號：（CSS）OTF-1200X-RTP-II-5
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