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小型等離子清洗機(jī)
簡(jiǎn)要描述:

PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。

  • 產(chǎn)品型號(hào):PCE-6
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-08-17
  • 訪  問  量:3374

詳細(xì)介紹

    PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為Φ160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。

    技術(shù)參數(shù)

主要特點(diǎn) 通過控制面板的按鍵及開關(guān),可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時(shí)間。
時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。
設(shè)有一個(gè)三通閥,可精確控制進(jìn)氣流量,以及大氣流清洗腔體。
選用大功率色射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)。
參數(shù) 電源:AC220V  50/60Hz
輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W
真空泵功率:<500W
總功率:<600W 
射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié)
等離子腔體:高純石英腔體,Φ160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封,法蘭上設(shè)有Φ45mm 的觀察窗
真空泵:24L/min,直連式雙旋真空泵
極限真空度:50mtorr
通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2ArH2O2Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定)
產(chǎn)品規(guī)格 尺寸:400mm×300mm×300mm
重量:10.2kg
可選配件 2″-6″石英舟(盛放基片)
2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)
質(zhì)保期 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)

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