777久久精品一区二区三区无码_精品国产麻豆免费人成网站_无翼乌漫画全彩集少女大全_日本一卡二卡新区乱码绿野仙踪_japanese日本护士booloo

Product Center

產(chǎn)品中心

當前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  合肥科晶總代理  >  等離子清洗機系列  >  PCE-80等離子清洗機

等離子清洗機
簡要描述:

PCE-80是一款較大型的等離子清洗機,等離子腔體為 8.5 “dia x 12““L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。

  • 產(chǎn)品型號:PCE-80
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-08-17
  • 訪  問  量:2573

詳細介紹

    等離子清洗機技術(shù)參數(shù)

 輸入電源 AC 220V , 50/60 Hz, 
大射頻功率: 100 W 
真空泵功率: < 500W
總功率: < 600W
 射頻功率 射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié)
射頻:   13,56 MHz
可以與本公司工作人員采用300W或500W的射頻電源,來進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗
 等離子腔體 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體
鋁制折疊式法蘭來進行真空密封
法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口
 控制面板 通過6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等.
儀器內(nèi)部安裝有一0 - 500ml/minute質(zhì)量流量計,可精確地控制進氣流量
 真空泵 儀器中包括一臺240L/min直聯(lián)式雙旋真空泵、KF25波紋管以及KF25的手動擋板閥。
極限真空度為50mTorr
 通入氣體 等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定)
 可選 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片
可選購2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)
 
 外型尺寸 620 L ×450 W ×600 H, mm
 質(zhì)保期 一年質(zhì)保期,終生維護

產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯數(shù)字),如:三加四=7
021-54338590
歡迎您的咨詢
我們將竭盡全力為您用心服務
66697150
關(guān)注公眾號
版權(quán)所有 © 2024 上海添時科學儀器有限公司  備案號:滬ICP備14051797號-1

TEL:021-54338590

關(guān)注公眾號