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當(dāng)前位置：首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  合肥科晶總代理  >  薄膜制備全套設(shè)備及解決方案  >  -GSL-1800X-ZF4高真空蒸發(fā)鍍膜儀

高真空蒸發(fā)鍍膜儀
簡(jiǎn)要描述：

GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍一些對(duì)氧較敏感的金屬膜，如Ti, Al 和Au等，也可蒸鍍各種氧化物材料。此款蒸鍍儀安裝有4個(gè)蒸鍍加熱頭.對(duì)于實(shí)驗(yàn)研究，這是一款鍍膜效果理想并且性價(jià)比較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：-GSL-1800X-ZF4
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2024-08-17
  • 訪  問(wèn)  量：4379

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

 

電壓
  • 輸入：208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 單相  ( < 3200W )
  • 輸出： 0 - 8VAC （可調(diào)）大電流： 400A （可調(diào)）
  • 大功率：4000W（包括真空泵）

 

真空腔體
  • 不銹鋼腔體：280mm ID. x 375 mm H，腔體內(nèi)壁做了電拋光處理
  • 有一個(gè)150mm的觀察窗口（采用無(wú)氧銅密封圈密封）
  • 一個(gè)RF-150法蘭，便于放入樣品。
  • 一個(gè)KF-40法蘭,可與真空泵相連接
  • 四個(gè)CF-35法蘭，便于安裝真空計(jì)、電極和其他用途備用

 

真空泵

 

 
  • 儀器中包括一臺(tái)高抽速的渦輪分子泵和前級(jí)泵
  • 前級(jí)泵抽速：600L/S
  • 真空度：5.0x10-6 torr（泵開啟后40分鐘）
  • 極限真空度：5.0x10-7  torr（烘烤溫度為60-80℃）
  • 漏氣率：5.0x10-7Pa./S

 

蒸發(fā)加熱源 樣品臺(tái)
  • 5個(gè)水冷電極安裝在腔體底部，可支持4個(gè)鎢加熱舟
  • 每個(gè)鎢舟上面安裝有可移動(dòng)的擋板，所以實(shí)驗(yàn)時(shí)可以防止各物料之間的污染，樣品臺(tái)安裝在真空腔體頂部，直徑為150mm

  •  

    樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)和加熱，旋轉(zhuǎn)速度0-20rpm，加熱高溫度600℃

     
  • 蒸發(fā)源與樣品臺(tái)的距離為250mm

 

測(cè)厚儀
  • 一個(gè)高分辨度的薄膜測(cè)厚儀安裝在腔體內(nèi)部
  • 測(cè)量精度為：1.0Å

 

循環(huán)水冷機(jī)
  • 儀器使用過(guò)程中需要通冷卻水，為了節(jié)約用水，強(qiáng)烈建議使用循環(huán)水冷機(jī)
  • 所需水流量>15L/min

 

   

 

 

控制單元
  • 真空、厚度和輸入電源控制全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)
  • 控制單元和真空腔體獨(dú)立分開，以便于操作

 

外形尺寸

 

L600mm× W860mm× H1500mm

 

凈重

 

600kg

 

質(zhì)保

 

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

 

質(zhì)量認(rèn)證

 

CE認(rèn)證

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