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噴膠機
簡要描述:

噴膠機適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝
全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機交互界面,可實現(xiàn)配方編輯及運行狀態(tài)監(jiān)控

  • 產(chǎn)品型號:SP200
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-08-19
  • 訪  問  量:1808

詳細介紹

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域化工
控溫范圍50-150℃溫度均勻性±1%
光刻膠流量0.4-20ml/min加熱平臺轉(zhuǎn)速1-30rpm
噴嘴水平移動速度≤200mm/s噴嘴水平行程≤300mm
光刻膠霧化直徑30-50μm設(shè)備尺寸1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)

噴膠機

適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝
全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機交互界面,可實現(xiàn)配方編輯及運行狀態(tài)監(jiān)控

產(chǎn)品參數(shù)

控溫范圍:50-150℃
溫度均勻性:±1%
3光刻膠流量:0.4-20ml/min
加熱平臺轉(zhuǎn)速:1-30rpm
噴嘴水平移動速度:≤200mm/s
噴嘴水平行程:≤300mm
光刻膠霧化直徑:30-50μm
設(shè)備尺寸:1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)

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