產(chǎn)品中心
當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 雷博科學(xué)儀器 > 工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備 > ET20刻蝕機(jī)
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
相關(guān)文章ARTICLES
詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
---|---|---|---|
旋轉(zhuǎn)速度范圍 | 0-3000rpm | 加速度范圍 | 20-5000rpm/s |
轉(zhuǎn)速精度 | ±1rpm | 刻蝕管路 | ≤2路(扇形或錐形噴嘴) |
設(shè)備尺寸 | 1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H) |
刻蝕機(jī)
刻蝕機(jī)是一種用于電子與通信技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器,于2012年5月14日啟用。
產(chǎn)品介紹
適合于8英寸及以下晶圓的單片刻蝕工藝
可選耐腐蝕PP柜體
可按客戶需求定制設(shè)備規(guī)格
全自動擺臂、可配備多路刻蝕液
觸摸式人機(jī)交互界面,實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)
可選蝕刻液加熱控溫及FFU功能
專用排風(fēng)、排廢系統(tǒng)、提高設(shè)備的安全性
產(chǎn)品參數(shù)
旋轉(zhuǎn)速度范圍:0-3000rpm
加速度范圍:20-5000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度:±1rpm
刻蝕管路:≤2路(扇形或錐形噴嘴)
設(shè)備尺寸:1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)
產(chǎn)品咨詢