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全自動清洗機(jī)
簡要描述:

全自動清洗機(jī)
適用于2至6英寸晶圓的清洗工藝
6寸以下wafer全自動清洗工藝處理
適合產(chǎn)能要求較高的批量產(chǎn)線
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊

  • 產(chǎn)品型號:SC200-AT
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-08-19
  • 訪  問  量:2256

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌類型其他
應(yīng)用領(lǐng)域化工旋轉(zhuǎn)速度范圍20-3000rpm
加速度范圍20-5000rpm/s最大設(shè)備配置4套清洗單元
清洗噴嘴類型NANO Spray配置CO2除靜電系統(tǒng)、等離子靜電消除器等
流量控制浮子式流量計(jì)(可選超聲波流量計(jì))設(shè)備尺寸1860mm(W)x1700mm(D)x2100mm(H)

全自動清洗機(jī)

清洗機(jī),用于沖洗過濾液壓系統(tǒng)在制造裝配、使用過程及維護(hù)時(shí)生成或侵入的污染物;也可以適用于對工作油液的定期維護(hù)過濾,提高清潔度,避免或減少因污染而造成的故障,從而保證液壓系統(tǒng)設(shè)備的高性能、高可靠度和長壽命。

產(chǎn)品介紹
適用于2至6英寸晶圓的清洗工藝
6寸以下wafer全自動清洗工藝處理
適合產(chǎn)能要求較高的批量產(chǎn)線
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊

產(chǎn)品參數(shù)

最大設(shè)備配置:4套清洗單元
旋轉(zhuǎn)速度范圍:20-5000rpm
加速度范圍:20-5000rpm/s
清洗噴嘴類型:NANO Spray
配置CO2除靜電系統(tǒng)、等離子靜電消除器等
流量控制:浮子式流量計(jì)(可選超聲波流量計(jì))
設(shè)備尺寸:1860mm(W)x1700mm(D)x2100mm(H)

 

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