產(chǎn)品特點：

•智能控制模塊，參數(shù)顯示更直觀更易操作；

•射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

•齒輪驅(qū)動管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性;

•4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控；

•爐體開啟式設(shè)計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。

加熱爐參數(shù)：

•雙溫區(qū)爐膛

•最高溫度：1200℃（≤2h）

•額定工作溫度：1100℃

•推薦升溫速率:≤10℃/min

(最高40℃/min 800℃注：急速升溫影響設(shè)備使用壽命）

•加熱區(qū)長度：L總：440mm；

溫區(qū)一：200mm

溫區(qū)二：200mm

•加熱爐額定功率：3KW/220V （配置空開30A）

•滑動方式：手動

•電壓：單相AC 208 - 240V， 50HZ

•石英管堵

•爐管規(guī)格：Φ外： 100mm φ內(nèi)： 94mm L長： 1800 mm

•材料：高純石英

溫控系統(tǒng)：

•模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能

•智能化30段可編程控制

•具有超溫及斷偶報警功能

•控溫精度:±1℃

•帶RS485通訊接口  PC接入，,并附帶控制軟件，加熱爐數(shù)據(jù)可每分鐘記錄保存一次。

•帶過電流過電壓保護,漏電保護

•電氣完祥岌電纜，冷壓端子藥符合UL認證標準

軟件控制：

•傳統(tǒng)PECVD與開發(fā)的智能通訊模塊組合，可對傳統(tǒng)PECVD實現(xiàn)自動化升級

•可自由搭配各種系統(tǒng)控制組合自定義CVD系統(tǒng)，例如溫控系統(tǒng)可選擇溫區(qū)或各品牌儀表控制；氣路系統(tǒng)可選擇設(shè)備型號，計算氣體總摩爾質(zhì)量，可以搭配射頻電源系統(tǒng)，真空系統(tǒng)等我公司生產(chǎn)的其他CVD系統(tǒng)模塊，通過智能控制盒和上位機自定義CVD生態(tài)控制系統(tǒng)實現(xiàn)隨意自定義組合CVD系統(tǒng)控制生態(tài)平臺，控制可搭配觸摸式一體機或者WIFI連接筆記本和臺式設(shè)備，搭配智能控制盒擴展接口可利于客戶后期采購任意CVD模塊升級現(xiàn)有CVD設(shè)備，例如后期增加壓力可控模塊可在購買該系統(tǒng)模塊后連接通訊線至智能控制盒，在軟件界面選擇該系統(tǒng)模塊即可在現(xiàn)有的cvD模塊控制界面添加壓力可控功能。

•使其具備了自動化運行，數(shù)據(jù)存儲，以及遠程操作性能

•該模塊可對所有我公司CVD模塊進行連接，并搭配家用路由器可實現(xiàn)無線遠程的操控和存儲。

射頻電源：

•500W射頻電源

• 0--500W可調(diào)（穩(wěn)定性±1%）

•射頻頻率：13.56MHZ

•自動匹配 風(fēng)冷

•噪音<50dB

•輸入電壓：AC108-250V

供氣系統(tǒng)：

•四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%)

•流量范圍：一路0-100 sccm

二路0-200 sccm

三路0-200 sccm

四路0-500 sccm

•連接接口：6.35mm雙卡套連接

•金屬管路：材質(zhì)：SUS316

φ外：6.35mm φ內(nèi)：4mm

•軟管路：材質(zhì)：特氟龍

φ外：6.35mm Φ內(nèi)：4mm

注：接入供氣系統(tǒng)的氣源需搭配減壓閥，將氣壓降至2mpa以下

真空系統(tǒng)：

•采用TRP-12的雙旋真空泵（抽速3L/s）

•KF25卡箍及波紋管用于連接法蘭與真空泵

•配置KF-25真空手動擋板閥

•真空度可達10^-2Torr

產(chǎn)品重量和尺寸：

•爐體尺寸：2200mm L*8500mmW*1400mm H;

質(zhì)保：

一年保質(zhì)期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件