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加熱型紫外臭氧清洗機(jī)
簡(jiǎn)要描述:

PCE-80是一款較大型的等離子清洗機(jī),等離子腔體為 8.5 “dia x 12““L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)。對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。

  • 產(chǎn)品型號(hào):PCE-80
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-08-19
  • 訪  問(wèn)  量:2220

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子
功率最大350W

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

清洗

 

 

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加熱型紫外臭氧清洗機(jī)

 

 

PCE-80是一款較大型的等離子清洗機(jī),等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)。對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。



 

 

 

應(yīng)用

● 去除分子級(jí)別的污染物
● 紫外光固化粘合劑
● 紫外光催化
● 氧化PDMS
● 表面消毒
● 刻蝕
● 清洗MEMS 器件
● 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片


主要參數(shù)

● 功率:最大350W

● AC 208~240V,單相 50/60Hz

 

紫外燈

● 可發(fā)出雙波長(zhǎng)的水銀燈

● 功率:55W

● 發(fā)出光的波長(zhǎng):254 nm 和 185 nm

● 使用壽命:2500 小時(shí)(可更換)

● 照射區(qū)域:200 x 200 mm

 

排氣口

● 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端

● 請(qǐng)將橡膠管與排氣口連接,將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外

● 儀器中不包含橡膠管

 

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

凈重28kg

腔體&樣品臺(tái)

● 不銹鋼殼體

● 抽屜式樣品臺(tái),以便放樣取樣

● 樣品臺(tái)面積310 mm x 320 mm

● 臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上

● 樣品臺(tái)與紫外燈的距離:20mm -40mm(可調(diào))

● 樣品臺(tái)可以加熱,最高溫度可達(dá)150℃

● 可設(shè)置20段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃

● 設(shè)備運(yùn)行時(shí)間:0.01 秒- 99.9小時(shí)

 

環(huán)境要求

● 僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi);

● 溫度范圍:41-104華氏度;

● 最大相對(duì)濕度80%,最高87華氏度,104華氏度線性降至50%相對(duì)濕度;

● 主電源波動(dòng)不超過(guò)額定電壓的10%;

● 污染等級(jí)2; 臭氧水平(環(huán)境)測(cè)量<45 ppb。

保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。

特別提示:

1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


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