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1700℃二通道混氣真空CVD氣相沉積
簡要描述:

1700℃二通道混氣真空CVD氣相沉積介紹:是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,其最高工作溫度可達(dá)1600℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

  • 產(chǎn)品型號:GSL-1700X-HVC
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-08-19
  • 訪  問  量:3793

詳細(xì)介紹

價格區(qū)間面議儀器種類管式爐
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子
工作電壓:AC 208-240V單相, 50/60Hz
    1700℃二通道混氣真空CVD系統(tǒng)介紹:

    型號:GSL-1700X-HVC

    殼體:

    •內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

    •保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失

    •真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上,方便移動.

    •儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭,閥門,高真空機(jī)組

    爐管:

    •材質(zhì):高純氧化鋁陶瓷管

    •一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上

    •(標(biāo)配尺寸)(60mm)0.D.xI.D.(50mm)x1000mm

    (選配尺寸)”(80mm)0.D.xI.D.(70mm)x1000mm

    功率:

    6KW

    工作電壓:

    AC208-240V單相,50/60Hz

    加熱元件:

    8根1800°cgradeMoSi2heatingelement

    工作溫度:

    •最高工作溫度.:1650°C(<2h)

    •連續(xù)工作溫度.:1600°C

    升溫速率:

    ≤5°C/min

    加熱區(qū)長度:

    加熱區(qū)長度:457mm(18”)

    溫控系統(tǒng):

    •采用PID方式自動控制,并可設(shè)置30段升降溫程序

    •控溫精度:±1°C

    •控溫儀表操作視頻

    •熱電偶:B~型,已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

    真空法蘭:

    •一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝

    •法蘭上帶有一機(jī)械壓為表

    •兩個精密針閥

    •一個KF-25連接器和KF-25轉(zhuǎn)KF-40抽氣接口

    •一個1/4~卡套接買

    1700℃二通道混氣真空CVD系統(tǒng)外形尺寸:

    550x380x520mm

    高真空機(jī)組:

    功率:100~110W

    工作電壓:AC208-240V單相,50/60Hz

    外形尺寸:600(L)x600(W)x700(H),mm

    殼體:

    殼體尺寸:600(L)x600(W)x700(H),mm

    最大承載量:600Lbsontop

    分子泵控制面板:LCD數(shù)字顯示

    控制面板:

    •一鍵操作:按下"start”鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(隔膜泵先啟動等真空度達(dá)到10-2mbar后,分子泵自動啟動)

    系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率:根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率

    抽氣速率:

    N2:33L/s

    He:39L/s(2340L/minute)

    H2:32L/s

    工作范圍:1000mbarto<1E-7mbar

    質(zhì)子流量控制器

    殼體

    •采用316不銹鋼制作

    •混氣箱尺寸:Φ80X120mm

    •外形尺寸:600(L)x600(W)x700(H),mm

    MPC控制面板(Click”to"enlarge),可根據(jù)客戶要求定制

    功率:18W

    工作電壓:AC208-240V,單相,50/60Hz

    質(zhì)保期:

    一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

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