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GSL-1200X-H8管式爐擁有三個(gè)獨(dú)立控制的加熱區(qū),爐管材料為SS310不銹鋼,Z高工作溫度為800℃。此款管式爐專門設(shè)計(jì)為樣品在流動的氫氣氣氛或高真空環(huán)境下(Z高真空度可達(dá)10E-5 tor)對材料進(jìn)行熱處理。此管式爐的密封采用高真空CF法蘭,并配有自動點(diǎn)火器和氫氣探測器,使得實(shí)驗(yàn)地安全。
OTF-1200X-II-HG是一款雙溫區(qū)濕度可控氫氣熱處理爐,此設(shè)備帶有兩通道氣體控制器,氣液混合罐,露點(diǎn)儀和氫氣探測器,此設(shè)備專門設(shè)置對材料進(jìn)行濕氫處理,以達(dá)到材料表面部分氧化,同時(shí)也進(jìn)行各種CVD實(shí)驗(yàn)。精密露點(diǎn)儀測量精度可以達(dá)到 +/-1.5%RH。若有實(shí)驗(yàn)中發(fā)生氫氣微露現(xiàn)象(氫氣爆炸點(diǎn)的10%),3M公司的氫氣探測器將發(fā)生報(bào)警信號,使整個(gè)實(shí)驗(yàn)在安全的環(huán)境下進(jìn)行。
OTF-1200X-RTP-II-5是一款快速熱處理爐,其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐針對于熱蒸發(fā)或CSS(Close Spaced Sublimation)鍍膜實(shí)驗(yàn),其鍍膜面積可達(dá)到5“x5“。
OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4“ 石英管和真空法蘭, 它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片(Z大達(dá)3“)的退火而設(shè)計(jì),采用10KW紅外燈管加熱Z快升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制,精度為 +/-1°C. 計(jì)算機(jī)通過RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線 。
OTF-1200X-50-SL是一款CE認(rèn)證的可滑動管式爐,配置外徑50x 1000mm石英管,工作溫度Z高達(dá)1200°C。爐底安裝一對滑軌,可滑動。加熱和冷卻速率Z大可達(dá)100°C/m。為取得Z快加熱,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得Z快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到15°C/s,是低成本快速熱處理的理想。
OTF-1200X-4-VTQ是立式可開啟真空管式淬火爐,石英管直徑100mm,配有一個(gè)密封的液體容器用于樣品淬火,溫度從Z高1200度到冰水或油,可用于研究材料相轉(zhuǎn)變和微結(jié)構(gòu)性能。